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東莞市日和自動化設備有限公司
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地址：廣東省東莞市道滘鎮萬道路2 號華科城創新島產業孵化園28棟
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產品詳情
產品描述
設備概要：二氧化碳噴霧精密清洗機
產品：4，6，8 英寸晶圓，MEMS，光罩
功能： 從專用噴嘴噴射干冰粉，以去除顆粒和有機殘留物。晶圓無水清洗防靜電措施，防止結露機械手自動將晶圓從盒中取出并存儲。
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